離子束刻蝕系統(tǒng) 
 

離子束刻蝕系統(tǒng)：
離子束刻蝕系統(tǒng)是為無(wú)塵室操作而設(shè)計(jì)的，Nanoquest II使得蝕刻模塊始終呆在無(wú)塵室的服務(wù)區(qū)內(nèi)。系統(tǒng)元件，如防護(hù)物和其他耐用部件，很容易在服務(wù)區(qū)存取。雙門蝕刻模塊可以使維修從試驗(yàn)箱的任何一側(cè)開(kāi)始。UHV設(shè)計(jì)規(guī)則確保該蝕刻模塊和負(fù)載鎖定試驗(yàn)箱有較低的基地壓力。高速真空泵不僅提供了快速泵，而且同時(shí)也減少了離子束氣體的碰撞。

Intlvac 的Nanoquest II離子束刻蝕系統(tǒng)新整合了一個(gè)水冷旋轉(zhuǎn)階段，一個(gè)22厘米R(shí)F 離子源，一個(gè)不銹鋼真空箱，低溫高真空泵系統(tǒng)，自動(dòng)水泵和通風(fēng)口，高真空計(jì)大氣，流量控制器，試驗(yàn)箱櫥.

高性能:
帶有150毫米和100毫米晶圓壓盤的Nanoquest是專為較小型號(hào)晶圓板批處理加載碳涂層配置所設(shè)計(jì)。100毫米直徑范圍內(nèi)的均勻性為± 3 ％，晶圓與晶圓的可重復(fù)性± 2 ％ 。 Nanoquest是您加工的理想平臺(tái)。
系統(tǒng)配置和布局:
真空箱是運(yùn)用UHV可兼容裝配技術(shù)，全部使用不銹鋼材料建造而成，其外觀經(jīng)過(guò)電拋光處理，整潔，美觀。連續(xù)的不銹鋼冷卻管道焊接在箱體外面，成網(wǎng)狀，提供高效率的散熱片。

離子束刻蝕系統(tǒng)：
◆ 單晶圓負(fù)載鎖定離子束刻蝕系統(tǒng)可用于最大150毫米的晶圓。
◆ 用戶可通過(guò)電感耦合等離子體屏柵離子源選擇光束電壓和電流密度。
◆ 在離子束的運(yùn)行期間，基板階段使得水冷系統(tǒng)在積極運(yùn)作的同時(shí)旋轉(zhuǎn)，傾斜。
◆ “低調(diào)的”無(wú)塵室界面把儀器箱和蝕刻模塊放在無(wú)塵室墻壁后面。